国产剧情亚洲欧美_日韩欧洲一区二区_国产探花在线观看等_波多野结衣a∨免费观看_国产美女主播一级毛片_成人啪精品视频网站午夜APP_天天躁恨恨躁夜躁2020_dy888午夜第九达达兔网a_亚洲欧美成人综合一区_国产精品福利在线观看无码卡一

高精度激光干涉儀SJ6000

一、高精度激光干涉儀SJ6000產(chǎn)品簡介：

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、***高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，而且及時處理數(shù)據(jù)，為機床誤差修正提供依據(jù)。

二、高精度激光干涉儀SJ6000功能特點：

1.     測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

2.     具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能�？梢詸z測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。

3.     可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。

4.     具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。

5.     內(nèi)置各種類國標(biāo)（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機床檢驗標(biāo)準(zhǔn)�？梢罁�(jù)各種機床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

6.     可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)�？蛇x擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償。

7.     測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8.     安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

 SJ6000激光干涉儀測量導(dǎo)軌在垂直方向上的直線度

角度反射鏡記錄下導(dǎo)軌在不同位置時的角度值，由軟件分析出導(dǎo)軌的直線度信息。

高精度激光干涉儀SJ6000直線度測量

SJ6000激光頭出射后的激光由直線度干涉鏡以一定的小角度分為兩束，并入射到直線度反射鏡中。經(jīng)直線度反射鏡反射后，沿著新光路返回到直線度干涉鏡中，鏡直線度干涉鏡合束后返回激光頭的進光口，有光電探測器、分析器完成計數(shù)和測量。

在直線度測量過程中，可以由直線度干涉鏡或者直線度反射鏡運動所產(chǎn)生相對于運動軸的橫向移動來進行測量，一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運動，這樣操作有利于提高測量的準(zhǔn)確性和精度。直線度測量可以對水平面和垂直面進行測量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。

SJ6000激光干涉儀直線度測量應(yīng)用

     機器軸直線度誤差的測量（數(shù)控機床、坐標(biāo)測量機等）

由于導(dǎo)軌磨損、事故造成的導(dǎo)軌損壞以及地基不牢導(dǎo)致的導(dǎo)軌彎曲等，會對機器的定位、加工精度帶來直接的影響。直線度測量可以顯示出機器導(dǎo)軌的彎曲或直線度的情況，并可由生成的直線度誤差對機器的性能做出評價和補償。

     機器軸、直線導(dǎo)軌組件

當(dāng)需要測量導(dǎo)軌較長時，傳統(tǒng)的直角測量方法無法提供這樣的測量長度和精度，測量時較重的角錐反射鏡的移動可能會對測量的準(zhǔn)確性產(chǎn)生影響，所有一般建議將質(zhì)量較輕的直線度干涉鏡作為移動部件。

     機床工作臺直線度測量

測量時，直線度反射鏡固定在機床的工作臺上，直線度干涉鏡安裝在移動的刀具位置，通過刀頭的移動就可以記錄下機床刀頭的直線度。

高精度激光干涉儀SJ6000垂直度測量

垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸，進行垂直度測量就是在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。

共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺用于至少一次測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動直線度反射鏡。

SJ6000激光干涉儀垂直度測量應(yīng)用

     機器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機床、坐標(biāo)測量機等）

垂直度測量通過比較直線度值從而確定兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度。垂直度誤差可能是導(dǎo)軌磨損、事故造成導(dǎo)軌損壞或機器地基差或龍門雙驅(qū)動機器上的兩原點傳感器未準(zhǔn)直造成的。垂直度誤差將對機器的定位精度及插補能力產(chǎn)生直接影響。

典型情況下對于超過1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是唯一的選擇，因為傳統(tǒng)的實物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

     X,Y軸垂直度對準(zhǔn)

X,Y工作臺和水平面垂直度測量光學(xué)鏡組的設(shè)定如圖所示。不管是什么類型的XY平臺，包括龍門型或者混合型或者其他類型的XY平臺，無論是大型或者小型平臺，重要的是有一個共同的參考基準(zhǔn)，就如圖中所示的直線度反射鏡。測量過程中直線度反射鏡保持不動。

     坐標(biāo)測量機垂直度和水平軸之間的垂直度測量

對于涉及垂直軸的垂直度測量，需要額外的增加直線度的附件，主要包括一個將光束偏轉(zhuǎn)90°的光束轉(zhuǎn)向鏡。

高精度激光干涉儀SJ6000平面度測量

平面測量是在角度測量的基礎(chǔ)上做的延伸，利用角度測量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉(zhuǎn)化為高度的變化，按照對角線的方法測量出平臺上不同位置的高度變化值，就可以得到整個平臺的平面度。

測量一個平面的平面度，需要在平面上采集若干條測量直線，平面度測量有兩種標(biāo)準(zhǔn)的方法：

高精度激光干涉儀SJ6000回轉(zhuǎn)軸測量

利用SJ6000激光干涉儀的角度測量附件，結(jié)合高精密零級多齒分度臺，便可以對回轉(zhuǎn)軸進行校準(zhǔn)。高精度零級多齒分度臺可以旋轉(zhuǎn)并鎖定到0°到360°中72個位置中的任何一個，每個位置的間隔為5°，定位誤差在1″。

用激光頭、角度干涉鏡和角度反射鏡測量轉(zhuǎn)臺的角度位置。軟件將轉(zhuǎn)臺的角度位置與來自激光頭和角度光學(xué)鏡的讀數(shù)合并在一起，顯示被校準(zhǔn)軸的真實轉(zhuǎn)角位置。

高精度激光干涉儀SJ6000技術(shù)參數(shù)