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SJ6000激光干涉儀

一、SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品簡介：

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、***高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，而且及時處理數(shù)據(jù)，為機床誤差修正提供依據(jù)。

二、SJ6000激光干涉儀功能特點：

1.     測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

2.     具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能�？梢詸z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。

3.     可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。

4.     具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。

5.     內(nèi)置各種類國標（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等機床檢驗標準�？梢罁�(jù)各種機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

6.     可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)�？蛇x擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償。

7.     測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8.     安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

 SJ6000激光干涉儀測量導(dǎo)軌在垂直方向上的直線度

角度反射鏡記錄下導(dǎo)軌在不同位置時的角度值，由軟件分析出導(dǎo)軌的直線度信息。

SJ6000激光干涉儀直線度測量

SJ6000激光頭出射后的激光由直線度干涉鏡以一定的小角度分為兩束，并入射到直線度反射鏡中。經(jīng)直線度反射鏡反射后，沿著新光路返回到直線度干涉鏡中，鏡直線度干涉鏡合束后返回激光頭的進光口，有光電探測器、分析器完成計數(shù)和測量。

在直線度測量過程中，可以由直線度干涉鏡或者直線度反射鏡運動所產(chǎn)生相對于運動軸的橫向移動來進行測量，一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運動，這樣操作有利于提高測量的準確性和精度。直線度測量可以對水平面和垂直面進行測量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。

SJ6000激光干涉儀直線度測量應(yīng)用

     機器軸直線度誤差的測量（數(shù)控機床、坐標測量機等）

由于導(dǎo)軌磨損、事故造成的導(dǎo)軌損壞以及地基不牢導(dǎo)致的導(dǎo)軌彎曲等，會對機器的定位、加工精度帶來直接的影響。直線度測量可以顯示出機器導(dǎo)軌的彎曲或直線度的情況，并可由生成的直線度誤差對機器的性能做出評價和補償。

     機器軸、直線導(dǎo)軌組件

當需要測量導(dǎo)軌較長時，傳統(tǒng)的直角測量方法無法提供這樣的測量長度和精度，測量時較重的角錐反射鏡的移動可能會對測量的準確性產(chǎn)生影響，所有一般建議將質(zhì)量較輕的直線度干涉鏡作為移動部件。

     機床工作臺直線度測量

測量時，直線度反射鏡固定在機床的工作臺上，直線度干涉鏡安裝在移動的刀具位置，通過刀頭的移動就可以記錄下機床刀頭的直線度。

SJ6000激光干涉儀垂直度測量

垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸，進行垂直度測量就是在同一基準上對兩個標稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。

共同的參考基準通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺用于至少一次測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準直，而不動直線度反射鏡。

SJ6000激光干涉儀垂直度測量應(yīng)用

     機器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機床、坐標測量機等）

垂直度測量通過比較直線度值從而確定兩個標稱正交坐標軸的非直角度。垂直度誤差可能是導(dǎo)軌磨損、事故造成導(dǎo)軌損壞或機器地基差或龍門雙驅(qū)動機器上的兩原點傳感器未準直造成的。垂直度誤差將對機器的定位精度及插補能力產(chǎn)生直接影響。

典型情況下對于超過1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是唯一的選擇，因為傳統(tǒng)的實物基準，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

     X,Y軸垂直度對準

X,Y工作臺和水平面垂直度測量光學(xué)鏡組的設(shè)定如圖所示。不管是什么類型的XY平臺，包括龍門型或者混合型或者其他類型的XY平臺，無論是大型或者小型平臺，重要的是有一個共同的參考基準，就如圖中所示的直線度反射鏡。測量過程中直線度反射鏡保持不動。

     坐標測量機垂直度和水平軸之間的垂直度測量

對于涉及垂直軸的垂直度測量，需要額外的增加直線度的附件，主要包括一個將光束偏轉(zhuǎn)90°的光束轉(zhuǎn)向鏡。

SJ6000激光干涉儀平面度測量

平面測量是在角度測量的基礎(chǔ)上做的延伸，利用角度測量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉(zhuǎn)化為高度的變化，按照對角線的方法測量出平臺上不同位置的高度變化值，就可以得到整個平臺的平面度。

測量一個平面的平面度，需要在平面上采集若干條測量直線，平面度測量有兩種標準的方法：

SJ6000激光干涉儀回轉(zhuǎn)軸測量

利用SJ6000激光干涉儀的角度測量附件，結(jié)合高精密零級多齒分度臺，便可以對回轉(zhuǎn)軸進行校準。高精度零級多齒分度臺可以旋轉(zhuǎn)并鎖定到0°到360°中72個位置中的任何一個，每個位置的間隔為5°，定位誤差在1″。

用激光頭、角度干涉鏡和角度反射鏡測量轉(zhuǎn)臺的角度位置。軟件將轉(zhuǎn)臺的角度位置與來自激光頭和角度光學(xué)鏡的讀數(shù)合并在一起，顯示被校準軸的真實轉(zhuǎn)角位置。